光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类

ArF光刻胶KrF光刻胶I-LINE光刻胶电子束光刻胶 封装光刻胶

ProductsArF光刻胶

徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。

包括ArF-immersion(topcoat less)产品和ArF-dry产品,树脂结构为甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯系列体系,伴有金刚烷等功能单元,具有高分辨率、高灵敏度、耐刻蚀等特点,技术能力已经达到28nm技术节点,目前已有10+支产品在国内知名12寸Fab验证,部分产品已获批量订单。

产品名称 HTA121
曝光波长 193nm Dry
技术节点及应用 N90-40nm PTD L/S
工艺能力CD 0.08um
工艺能力THK 0.20-0.30um
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