ProductsArF光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
包括ArF-immersion(topcoat less)产品和ArF-dry产品,树脂结构为甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯系列体系,伴有金刚烷等功能单元,具有高分辨率、高灵敏度、耐刻蚀等特点,技术能力已经达到28nm技术节点,目前已有10+支产品在国内知名12寸Fab验证,部分产品已获批量订单。
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产品名称 | HTA112 |
曝光波长 | 193nm IMM | |
技术节点及应用 | N40nm-14nm PTD C/H | |
工艺能力CD | 0.080um | |
工艺能力THK | 0.13-0.20um |