Products光刻胶-ArF光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
包括ArF-immersion（topcoat less）产品和ArF-dry产品，树脂结构为甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯系列体系，伴有金刚烷等功能单元，具有高分辨率、高灵敏度、耐刻蚀等特点，技术能力已经达到0.18um~28nm技术节点，目前已有5+支产品在国内知名12寸Fab验证，部分产品已获批量订单。
| 曝光波长 | 产品名称 | 技术节点及应用 | 工艺能力CD | 工艺能力THK | 图像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 193nm IMM | HTA116 | N40nm-14nm PTD L/S | 0.063um | 0.16-0.24um |  |
| 193nm IMM | HTA112 | N40nm-14nm PTD C/H | 0.080um | 0.13-0.20um |  |
| 193nm Dry | HTA121 | N90-40nm PTD L/S | 0.08um | 0.20-0.30um |  |
| 193nm Dry | HTA1101 | N90-40nm PTD C/H | 0.09um | 0.15-0.21um |  |
| 193nm Dry | HTA1123 | N90-40nm PTD C/H | 0.10um | 0.20-0.30um |  |
| 193nm Dry | HTA1201 | N90-40nm PTD C/H | 0.10um | 0.23-0.35um |  |
| 193nm IMM | HTA2031 | N40nm-14nm PTD C/H | 0.045um | 0.08~0.10um |  |
| 193nm IMM | HTA2011 | N40nm-14nm PTD C/H | 0.065um | 0.09~0.12um |  |
总共有 8 篇记录 这是第 1 页
