Products光刻胶-电子束光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
可提供从PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同体系的产品,包括正性和负性两大类,具有高分辨和耐刻蚀等优点。技术及生产能力达到国际水平,目前是国内唯一一家可以提供电子束胶的公司。2015年进入销售, 服务于超过15+家客户。
种类 | 产品名称 | 技术节点及应用 | 工艺能力CD | 工艺能力THK | 图像 |
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电子束光刻胶 | RE209 | 微纳加工 | 0.012um | 0.24um | ![]() |
电子束光刻胶 | RE300系列 | 微纳加工 | 0.05um | 0.12-0.6 | ![]() |
电子束光刻胶 | RE650 | 微纳加工 | 0.04um | 0.2-0.3um | ![]() |
电子束光刻胶 | RE500 | 微纳加工 | 0.02um | 0.12um | ![]() |
电子束光刻胶 | NRE800 | 微纳加工 | 0.03um | 0.2-0.35um | ![]() |
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