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I-LINE光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
专注于PHS树脂体系的化学放大胶,包括正胶和负胶两大类产品,厚度范围覆盖0.3~20um,具有高透明性、高深宽比、高throughput等优点,目前已有15+支产品在国内各IC厂验证及销售。
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HTI560-0.3
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:KRF backup
工艺能力CD:0.35um
工艺能力THK:0.2-0.4um -
HTI560-0.6
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:0.45um
工艺能力THK:0.6-0.9um -
HTI560-1
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:0.5um
工艺能力THK:0.8-1.2um -
HTI560-2
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:0.6um
工艺能力THK:2.1-3.0um -
HTI560-3A
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:1um
工艺能力THK:2.9-4.0um -
HTI560-5D
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:0.8um
工艺能力THK:4.0-7.5um -
HTI560-8
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用, TSV
工艺能力CD:2um
工艺能力THK:6.0-8.0um -
HTI560-20C
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:先进封装die切割
工艺能力CD:5um
工艺能力THK:10-17um -
HTI751
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:0.5um
工艺能力THK:0.7-1um -
HTIN174
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:化合物半导体 金属剥离
工艺能力CD:2um
工艺能力THK:2.5-5.5um (4inch)