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电子束光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
可提供从PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同体系的产品,包括正性和负性两大类,具有高分辨和耐刻蚀等优点。技术及生产能力达到国际水平,目前是国内唯一一家可以提供电子束胶的公司。2015年进入销售, 服务于超过15+家客户。
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RE209
种类:电子束光刻胶
技术节点及应用:微纳加工
工艺能力CD:0.012um
工艺能力THK:0.24um -

RE300系列
种类:电子束光刻胶
技术节点及应用:微纳加工
工艺能力CD:0.05um
工艺能力THK:0.12-0.6 -

RE650
种类:电子束光刻胶
技术节点及应用:微纳加工
工艺能力CD:0.04um
工艺能力THK:0.2-0.3um -

RE500
种类:电子束光刻胶
技术节点及应用:微纳加工
工艺能力CD:0.02um
工艺能力THK:0.12um -

NRE800
种类:电子束光刻胶
技术节点及应用:微纳加工
工艺能力CD:0.03um
工艺能力THK:0.2-0.35um






