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I-LINE光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
专注于PHS树脂体系的化学放大胶,包括正胶和负胶两大类产品,厚度范围覆盖0.3~20um,具有高透明性、高深宽比、高throughput等优点,目前已有15+支产品在国内各IC厂验证及销售。
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HTIN1710
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:化合物半导体 金属剥离
工艺能力CD:6um
工艺能力THK:6-12um -
HTIN160
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:化合物半导体 金属剥离
工艺能力CD:0.5um
工艺能力THK:0.8-7um -
HTIN683
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:MEMS,微米器件
工艺能力CD:5um@THK 40um
工艺能力THK:8-60um -
HTIN161
曝光波长:I-line 365nm
技术节点及应用:IC 通用
工艺能力CD:0.5um
工艺能力THK:1um