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I-LINE光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
专注于PHS树脂体系的化学放大胶,包括正胶和负胶两大类产品,厚度范围覆盖0.3~20um,具有高透明性、高深宽比、高throughput等优点,目前已有15+支产品在国内各IC厂验证及销售。
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   HTI560-0.3曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:KRF backup
 工艺能力CD:0.35um
 工艺能力THK:0.2-0.4um
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   HTI560-0.6曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用
 工艺能力CD:0.45um
 工艺能力THK:0.6-0.9um
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   HTI560-1曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用
 工艺能力CD:0.5um
 工艺能力THK:0.8-1.2um
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   HTI560-2曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用
 工艺能力CD:0.6um
 工艺能力THK:2.1-3.0um
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   HTI560-3A曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用
 工艺能力CD:1um
 工艺能力THK:2.9-4.0um
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   HTI560-5D曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用
 工艺能力CD:0.8um
 工艺能力THK:4.0-7.5um
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   HTI560-8曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用, TSV
 工艺能力CD:2um
 工艺能力THK:6.0-8.0um
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   HTI560-20C曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:先进封装die切割
 工艺能力CD:5um
 工艺能力THK:10-17um
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   HTI751曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:IC 通用
 工艺能力CD:0.5um
 工艺能力THK:0.7-1um
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   HTIN174曝光波长:I-line 365nm 
 技术节点及应用:化合物半导体 金属剥离
 工艺能力CD:2um
 工艺能力THK:2.5-5.5um (4inch)






