ProductsI-LINE光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
专注于PHS树脂体系的化学放大胶,包括正胶和负胶两大类产品,厚度范围覆盖0.3~20um,具有高透明性、高深宽比、高throughput等优点,目前已有15+支产品在国内各IC厂验证及销售。
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产品名称 | HTIN683 |
曝光波长 | I-line 365nm | |
技术节点及应用 | MEMS,微米器件 | |
工艺能力CD | 5um@THK 40um | |
工艺能力THK | 8-60um |
光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
专注于PHS树脂体系的化学放大胶,包括正胶和负胶两大类产品,厚度范围覆盖0.3~20um,具有高透明性、高深宽比、高throughput等优点,目前已有15+支产品在国内各IC厂验证及销售。
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产品名称 | HTIN683 |
曝光波长 | I-line 365nm | |
技术节点及应用 | MEMS,微米器件 | |
工艺能力CD | 5um@THK 40um | |
工艺能力THK | 8-60um |