光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类

ArF光刻胶KrF光刻胶I-LINE光刻胶电子束光刻胶 封装光刻胶

Products光刻胶-电子束光刻胶

徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。

可提供从PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同体系的产品,包括正性和负性两大类,具有高分辨和耐刻蚀等优点。技术及生产能力达到国际水平,目前是国内唯一一家可以提供电子束胶的公司。2015年进入销售, 服务于超过15+家客户。

曝光波长 产品名称 技术节点及应用 工艺能力CD 工艺能力THK 图像
电子束光刻胶 RE209 微纳加工 0.012um 0.24um
电子束光刻胶 RE300系列 微纳加工 0.05um 0.12-0.6
电子束光刻胶 RE650 微纳加工 0.04um 0.2-0.3um
电子束光刻胶 RE500 微纳加工 0.02um 0.12um
电子束光刻胶 NRE800 微纳加工 0.03um 0.2-0.35um
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