光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类

ArF光刻胶KrF光刻胶I-LINE光刻胶电子束光刻胶 封装光刻胶

Products光刻胶-KrF光刻胶

徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。

PHS树脂体系,包括高活化能正胶、低活化能正胶以及负性胶等产品,具有高解析度、耐刻蚀、抗离子注入等优点。薄胶以高分辨为特点,解析度可达HP120nm,厚胶以高深宽比为特点,AR可达12:1,已进入客户端验证。目前已有近10+支KrF产品在国内12寸Fab验证及销售。

曝光波长 产品名称 技术节点及应用 工艺能力CD 工艺能力THK 图像
248nm HTKN601-0.4B 化合物半导体 (金属剥离,KrF 负胶) 0.25um 0.4-0.7um
248nm HTKN601-0.6 化合物半导体 (金属剥离,KrF 负胶) 0.3um 0.6-1.3um
248nm HTKN602 IC 负胶 1um 0.8-1.4um
248nm HTK3003 CIS工艺 0.24um 2.4~3.5um
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