Products光刻胶-KrF光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
PHS树脂体系,包括高活化能正胶、低活化能正胶以及负性胶等产品,具有高解析度、耐刻蚀、抗离子注入等优点。薄胶以高分辨为特点,解析度可达HP120nm,厚胶以高深宽比为特点,AR可达12:1,已进入客户端验证。目前已有近10+支KrF产品在国内12寸Fab验证及销售。
曝光波长 | 产品名称 | 技术节点及应用 | 工艺能力CD | 工艺能力THK | 图像 |
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248nm | HTKN601-0.4B | 化合物半导体 (金属剥离,KrF 负胶) | 0.25um | 0.4-0.7um | |
248nm | HTKN601-0.6 | 化合物半导体 (金属剥离,KrF 负胶) | 0.3um | 0.6-1.3um | |
248nm | HTKN602 | IC 负胶 | 1um | 0.8-1.4um | |
248nm | HTK3003 | CIS工艺 | 0.24um | 2.4~3.5um |