光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类

ArF光刻胶KrF光刻胶I-LINE光刻胶电子束光刻胶 封装光刻胶 纳米压印光刻胶

Products电子束光刻胶

徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。

可提供从PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同体系的产品,包括正性和负性两大类,具有高分辨和耐刻蚀等优点。技术及生产能力达到国际水平,目前是国内唯一一家可以提供电子束胶的公司。2015年进入销售, 服务于超过15+家客户。

产品名称 RE650
曝光波长 电子束光刻胶
技术节点及应用 微纳加工
工艺能力CD 0.04um
工艺能力THK 0.2-0.3um
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