Products电子束光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
可提供从PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同体系的产品,包括正性和负性两大类,具有高分辨和耐刻蚀等优点。技术及生产能力达到国际水平,目前是国内唯一一家可以提供电子束胶的公司。2015年进入销售, 服务于超过15+家客户。
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产品名称 | RE650 |
| 曝光波长 | 电子束光刻胶 | |
| 技术节点及应用 | 微纳加工 | |
| 工艺能力CD | 0.04um | |
| 工艺能力THK | 0.2-0.3um |
光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
可提供从PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同体系的产品,包括正性和负性两大类,具有高分辨和耐刻蚀等优点。技术及生产能力达到国际水平,目前是国内唯一一家可以提供电子束胶的公司。2015年进入销售, 服务于超过15+家客户。
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产品名称 | RE650 |
| 曝光波长 | 电子束光刻胶 | |
| 技术节点及应用 | 微纳加工 | |
| 工艺能力CD | 0.04um | |
| 工艺能力THK | 0.2-0.3um |