ProductsKrF光刻胶
徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。
PHS树脂体系,包括高活化能正胶、低活化能正胶以及负性胶等产品,具有高解析度、耐刻蚀、抗离子注入等优点。薄胶以高分辨为特点,解析度可达HP120nm,厚胶以高深宽比为特点,AR可达12:1,已进入客户端验证。目前已有近20+支KrF产品在国内12寸Fab验证及销售。
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产品名称 | HTK3001 |
| 曝光波长 | 248nm | |
| 技术节点及应用 | N90-14nm KrF L/S, C/H, (IMP,Etch) | |
| 工艺能力CD | 0.32um | |
| 工艺能力THK | 1.0-1.5um |




