光刻胶全产业链模式, 半导体光刻胶全品类

ArF光刻胶KrF光刻胶I-LINE光刻胶电子束光刻胶 封装光刻胶 纳米压印光刻胶

ProductsKrF光刻胶

徐州博康是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。

PHS树脂体系,包括高活化能正胶、低活化能正胶以及负性胶等产品,具有高解析度、耐刻蚀、抗离子注入等优点。薄胶以高分辨为特点,解析度可达HP120nm,厚胶以高深宽比为特点,AR可达12:1,已进入客户端验证。目前已有近20+支KrF产品在国内12寸Fab验证及销售。

产品名称 HTK1082
曝光波长 248nm
技术节点及应用 N40nm-14nm KrF L/S (IMP,Etch)
工艺能力CD 0.30um
工艺能力THK 0.80-1.20um
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